E系列工具測(cè)量顯微鏡

• 描述

• 參數(shù)

• 應(yīng)用&視頻

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  高分辨：

   放大倍率15萬倍

   5nm分辨率

   1kV~30kV加速電壓選擇 ，圖像分辨率高

             

  使用方便：

  Tilt（ 0~90 ）載物臺(tái)配置（可選擇）

  通過選配EDS可進(jìn)行元素成份分析

  掃描電鏡,體型小巧, 占用空間小

  
  

  產(chǎn)品特性：

  自動(dòng)平臺(tái)采用中心定位模式,迅速定位待測(cè)樣品

  采用二次電子和背散電子雙重探測(cè)器

  
  

  掃描電鏡能譜一體機(jī)：

  原廠集成能譜儀

  高真空設(shè)計(jì),可調(diào)式電壓,為不同樣品提供更合適的檢測(cè)環(huán)境

  
  

  
  

  E-150系列掃描電鏡技術(shù)參數(shù)
  分辨率	5nm  (30kV,SE)
  放大倍率	20x~150,000x
  加速電壓	~30kV
  探測(cè)器	SE探測(cè)器 ，可選配BSE探測(cè)器 ，EDS等
  電子槍	預(yù)對(duì)中鎢燈絲
  透鏡系統(tǒng)	聚光鏡 ：2段式磁線圈透鏡 物鏡 ：1段式磁線圈物鏡
  載物臺(tái)	3軸(X,Y, R,)X,Y軸40mm/R軸 ：360 ° 可選5軸樣品臺(tái) ：X:40mm,Y:40mm,Z:40mm,R:360°,T:0 ~90 °
  圖像偏移	X,Y軸圖像偏移(±150μm)
  光闌	可調(diào)節(jié)光闌(30/50/50/100μm)
  樣品最大尺寸	高度35mm時(shí)最大直徑80mm
  圖像掃描	快速掃描 ：320*240  低速掃描 ：640*480 圖片模式1:1280*960   圖片模式2:2560*1920           圖片模式3:5120*3840
  自動(dòng)功能	自動(dòng)啟動(dòng)、 自動(dòng)亮度對(duì)比度調(diào)節(jié)、 自動(dòng)初始化
  圖像存儲(chǔ)格式	BMP,JPEG,PNG,TIFF
  圖片顯示數(shù)據(jù)	放大倍率、探測(cè)器類型、加速電壓、真空模式、比例尺、LOGO、 日期和時(shí)間
  真空方式	高真空模式 ，機(jī)械泵 ，分子泵 ，抽真空時(shí)間 ：3分鐘以內(nèi)
  設(shè)備尺寸	460(W)*600(L)*950(H)mm
  運(yùn)行環(huán)境	溫度 ：15~30℃,濕度 ：≤70%電源 ：?jiǎn)蜗?/span>220AC1KW 50/60Hz

  
  
  樣品效果：

  
  

  

  氧化鋁陶瓷粉顆粒

  
  

  

  LED合金線

  
  

  

  LED弧線不良

  
  

  
  

  
  

• 型號(hào)	E-150系列
  	E-150S-MS	E-150D-MS	E-150D-ST
  電子系統(tǒng)
  分辨率	5nm (30kV)
  放大倍率	30x~150,000x
  加速電壓	1~30kv（6檔可選）
  探測(cè)器	SE 探測(cè)器	SE/BSE 探測(cè)器	SE/BSE 探測(cè)器
  圖像檢測(cè)	二次電子圖像	多探測(cè)器電子圖像	多探測(cè)器電子圖像
  電子槍校正	手動(dòng)校正
  偏壓系統(tǒng)	自動(dòng)偏壓系統(tǒng)
  燈絲類型	預(yù)對(duì)中鎢燈絲
  鏡頭系統(tǒng)	聚光鏡：2段式磁線圈透鏡 物 鏡： 1段式磁線圈物鏡
  樣品臺(tái)
  載物臺(tái)控制方式	3軸手動(dòng)		5軸自動(dòng)
  載物臺(tái)移動(dòng)范圍	3軸手動(dòng)（X,Y,R,)X,Y軸 40mm / R軸 : 360°		5軸自動(dòng)（X,Y,R,T,Z)X,Y軸 40mm / R軸 : 360°, T軸 : 45°, Z軸 : 0~35mm
  圖像偏移	X,Y軸圖像偏移（±150μm）
  光闌	可調(diào)節(jié)光闌（30/50/50/100μm）
  樣品最大尺寸	高度35mm時(shí)最大直徑80mm
  圖像處理
  圖像掃描	快速掃描：320*240   低速掃描：640*480 圖片模式1:1280*960    圖片模式2:2560*1920   圖片模式3:5120*3840
  自動(dòng)功能	自動(dòng)啟動(dòng)、自動(dòng)亮度對(duì)比度調(diào)節(jié)、自動(dòng)初始化
  圖像存儲(chǔ)格式	BMP, JPEG, PNG, TIFF
  圖片顯示數(shù)據(jù)	放大倍率、探測(cè)器類型、加速電壓、真空模式、比例尺、LOGO、日期和時(shí)間
  真空系統(tǒng)
  真空方式	全自動(dòng)型、高真空模式（旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵）100L/min,(渦輪式分子泵）70L/S. 抽真空時(shí)間：3分鐘
  操控系統(tǒng)
  電腦系統(tǒng)	微軟操作系統(tǒng)  Windows? 10 / 11
  連接方式	USB接口
  SENSE應(yīng)用軟件
  應(yīng)用軟件	圖像文件打開，編輯，存儲(chǔ)功能長(zhǎng)度，面積，角度等測(cè)量功能,設(shè)置數(shù)初始化，圖像拍攝模式轉(zhuǎn)換，Archives, Setting(EDS)模式等
  儀器體積和重量
  設(shè)備尺寸	460*600*950mm
  真空泵	400*160*340mm
  重量	130kg
  設(shè)備環(huán)境
  運(yùn)行環(huán)境	溫度：15~30℃，濕度：≤70%  電源：?jiǎn)蜗?20AC 1KW 50/60Hz