晶圓技術(shù)及缺漏檢測解決方案

 半導(dǎo)體 / 集成電路     |      2018-11-24

   晶圓技術(shù)及缺漏檢測解決方案

  半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展，對晶圓質(zhì)對量的要求也越來越高。光刻工藝復(fù)雜度提高的同時，缺陷  法來源越來越多元化，對缺陷的檢測需求逐步增加”。傳統(tǒng)的生產(chǎn)線中，缺陷的檢測主要依靠人工肉眼檢測，該方法有低效率、高誤檢率、易受主觀因素影響等缺點，已不能  缺尾滿足現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)的需要，  隨著計算機(jī)技術(shù)與圖像處理技術(shù)的發(fā)展 ，視覺自行檢測技術(shù)在各領(lǐng)域中被廣泛應(yīng)用。



深圳華顯光學(xué)提供晶圓計算及缺漏檢測解決方案_自動位移智能檢測儀

為降低晶圓缺陷對半導(dǎo)體制造的影響， 在基于改進(jìn)的多重中值濾波算法的基礎(chǔ)上，以差影法為基本原理，采用歸一化互相關(guān)的模版匹配方法實現(xiàn)晶圓表面繞府檢測，改進(jìn)多重中值濾波算法有效實現(xiàn)噪聲點與非噪聲點的分辨,歸一化模板匹配算法對光照具有很好的魯棒性。采用形態(tài)學(xué)濾波算法和區(qū)域融合的分水嶺算法對晶圓缺陷的提取進(jìn)行了研究;實現(xiàn)了半導(dǎo)體器件塑封缺陷的檢測，并提出一種雙模版的匹配方法?；贚abVIEW和IMAQ模塊，利用自行設(shè)計的硬件平臺，以差影法為基本原理，采用歸一化互相關(guān)(NCC)的模版匹配方法，對晶圓的缺陷檢測進(jìn)行進(jìn)一步的研究，以提高算法的實時性和有效性。


                                                                      技術(shù)人員：陳先生
                                                                           實驗日期：2018/9/20

                                                                                 聯(lián)系方式：0755-81753034

     

一、檢測要求：
1:操作人員放置晶圓盤至工作平臺，設(shè)備自動進(jìn)行移動檢測。
2:對晶圓盤內(nèi)的晶圓數(shù)量自動進(jìn)行計算。
3:對晶圓盤內(nèi)出現(xiàn)的缺料，該位置進(jìn)行圖片采集。
二、設(shè)備結(jié)構(gòu)要求：
1:X/Y方向自動位移≥8英寸。
2:智能檢測系統(tǒng)，操作人員手動放置，自動運(yùn)行檢測。
3:檢測結(jié)果匯集文檔，圖片顯示。
4:提供備用通信接口，可定向MES系統(tǒng)開發(fā)端口。
三、設(shè)備參數(shù)
1:高清HDMI智能工業(yè)相機(jī)，嵌入式集成軟件；分辨率：1920X1080；
2：檢測軟件具備：有無識別，排序計數(shù)，顏色分辨，尺寸測量，外觀判斷等功能。
3:配置EOC高清光學(xué)鏡頭，落射臨界照明系統(tǒng)。
4:實時畫面，60/fps傳輸速度。

5:全自動位移工作臺，可編程軌跡運(yùn)動。

6:檢測時間：300/ms視野范圍內(nèi)檢測。

           四：設(shè)備外觀圖

正面



(側(cè)面）NG情況



描述：晶圓出現(xiàn)空缺，設(shè)備設(shè)置發(fā)現(xiàn)空缺進(jìn)行不良提示，存儲圖片?？杖蔽恢貌挥嫈?shù)。


OK畫面



華顯光學(xué)儀器實驗室對大量的晶粒進(jìn)行實驗，實驗結(jié)果表明，自動位移，自動計數(shù)，自動檢測完全滿足要求可有效檢測出晶圓表面的缺陷，精度達(dá)到15um左右，所提檢測算法在實際應(yīng)用中可代替人工，快速準(zhǔn)確地實現(xiàn)晶圓的缺陷檢測。