晶圓計算及缺漏檢測解決方案
技術(shù)人員：陳先生
實驗日期：2018/9/20
聯(lián)系方式：0755-81753034
金相顯微鏡
一、檢測要求：
1:操作人員放置晶圓盤至工作平臺，設(shè)備自動進行移動檢測。
2:對晶圓盤內(nèi)的晶圓數(shù)量自動進行計算。
3:對晶圓盤內(nèi)出現(xiàn)的缺料，該位置進行圖片采集。
二、設(shè)備結(jié)構(gòu)要求：
1:X/Y方向自動位移≥8英寸。
2:智能檢測系統(tǒng)，操作人員手動放置，自動運行檢測。
3:檢測結(jié)果匯集文檔，圖片顯示。
4:提供備用通信接口，可定向MES系統(tǒng)開發(fā)端口
三、設(shè)備參數(shù)
1:高清HDMI智能工業(yè)相機，嵌入式集成軟件；分辨率：1920X1080；
2：檢測軟件具備：有無識別，排序計數(shù)，顏色分辨，尺寸測量，外觀判斷等功能。
3:配置EOC高清光學(xué)鏡頭，落射臨界照明系統(tǒng)。
4:實時畫面，60/fps傳輸速度。
5:全自動位移工作臺，可編程軌跡運動。
6:檢測時間：300/ms視野范圍內(nèi)檢測。
四：設(shè)備外觀圖
描述：晶圓出現(xiàn)空缺，設(shè)備設(shè)置發(fā)現(xiàn)空缺進行不良提示，存儲圖片?？杖蔽恢貌挥嫈?shù)。
OK畫面
結(jié)論：自動位移，自動計數(shù)，自動檢測完全滿足要求。
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